• Reduce Particle Problems 降低聚合物(Polymer)剥落 降低生产成本 降低水份(Moisture)累 • Yield Reduce defect 提升良率 • Stable Process Conditions 控制反应室(Chamber)环境 维持晶圆(Wefer)温度 延长电极(ESC) life time • Helium Flow Errors 消除ESC & Clamp Polymer 消除ESC Edge Polymer产生 • PM Recovery 缩短机台保养及复机时间 • Protects Employees 解决操作人员安全上的问题(AlCl3)
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