• Reduce Particle Problems

降低聚合物(Polymer)剥落

降低生产成本

降低水份(Moisture)累

• Yield

Reduce defect

提升良率

• Stable Process Conditions

控制反应室(Chamber)环境

维持晶圆(Wefer)温度

延长电极(ESC) life time

• Helium Flow Errors

消除ESC & Clamp Polymer

消除ESC Edge Polymer产生

• PM Recovery

缩短机台保养及复机时间

• Protects Employees

解决操作人员安全上的问题(AlCl3)